本文源自:金融界金融界2025年8月23日消息，凱迪科技凱迪國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，官網(wǎng)廣東廣東凱迪微智能裝備有限公司申請一項(xiàng)名為“平邊薄片晶圓放置旋轉(zhuǎn)卡盤的威文精準(zhǔn)檢測方法與系統(tǒng)”的專利，公開號CN120521490A，化股申請日期為2025年05月。凱迪科技凱迪

專利摘要顯示，官網(wǎng)廣東半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域的威文平邊薄片晶圓放置旋轉(zhuǎn)卡盤的精準(zhǔn)檢測方法與系統(tǒng)，包括：在晶圓放置至旋轉(zhuǎn)卡盤時，化股通過激光傳感器掃描晶圓邊緣與卡盤接觸區(qū)域的凱迪科技凱迪搭接情況，得到邊緣搭片的官網(wǎng)廣東實(shí)時分布數(shù)據(jù)；從邊緣搭片分布數(shù)據(jù)中提取平邊位置信息，采用圖像匹配算法對比預(yù)設(shè)的威文取向基準(zhǔn)，確定取向偏差的化股具體角度值；根據(jù)取向偏差角度值和邊緣搭片分布數(shù)據(jù)，通過協(xié)同控制算法調(diào)整旋轉(zhuǎn)卡盤的凱迪科技凱迪轉(zhuǎn)速與角度，得到晶圓在卡盤上的官網(wǎng)廣東最終定位結(jié)果；獲取最終定位結(jié)果后，通過深度學(xué)習(xí)模型對晶圓的威文到位狀態(tài)進(jìn)行分類判斷，確定是否存在殘余偏位或搭片現(xiàn)象；從分類判斷結(jié)果中提取異常數(shù)據(jù)，針對異常數(shù)據(jù)調(diào)整搬運(yùn)與放置的協(xié)同參數(shù)，得到優(yōu)化的工藝控制方案。

天眼查資料顯示，廣東凱迪微智能裝備有限公司，成立于2018年，位于東莞市，是一家以從事通用設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)企業(yè)注冊資本1108萬人民幣通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，廣東凱迪微智能裝備有限公司參與招投標(biāo)項(xiàng)目5次，財產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息3條，專利信息93條，此外企業(yè)還擁有行政許可14個。